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一种p-AlN/i-AlN/n-ZnO结构

一种p-AlN/i-AlN/n-ZnO结构

  • 201721349165.5    去官网认证

  • 实用新型专利

  • 激光半导体照明光学

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专利概述

专利名称

一种p-AlN/i-AlN/n-ZnO结构

专利介绍

本实用新型公开了p‑AlN/i‑AlN/n‑ZnO结构,本实用新型制备得到的p‑AlN/i‑AlN/n‑ZnO结构具有结构简单、光电性能好等特点,制备方法具有生长工艺简单,制备成本低廉的优点。

专利详情

本实用新型公开了p‑AlN/i‑AlN/n‑ZnO结构,包括由下至上依次排列的衬底、p‑AlN层、i‑AlN层和n‑ZnO层;本实用新型还公开了上述p‑AlN/i‑AlN/n‑ZnO结构的制备及应用;本实用新型制备得到的p‑AlN/i‑AlN/n‑ZnO结构具有结构简单、光电性能好等特点,制备方法具有生长工艺简单,制备成本低廉的优点。

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