专利概述
专利名称
一种用于低压模拟工艺腔室内压力测量的装置及方法
专利介绍
本发明公开了一种用于低压模拟工艺腔室内压力测量的装置及方法，该装置包括上盖、匀气室、腔体、基板及排气装置，腔体内设有压力引管，压力引管包括伸缩引管及套在伸缩引管外的定长引管，定长引管和伸缩引管之间设有调节伸缩引管长度的调节旋钮
专利详情
定长引管的固定端伸出腔体的底部并设有外接口，腔体外设有引管位置改变装置，引管位置改变装置包括与腔体连接的支架，支架螺纹连接有螺杆，螺杆的上端通过转换轴承连接有与定长引管连接的转换器，转换器上固定有高度指针，及可上下伸缩的伸缩套管，伸缩套管的端部连接有角度指针，支架对应高度指针、腔体的外底壁对应角度指针均设有相应的刻度。该结构可测量腔体内一定空间范围任一点的压力值。
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