专利概述
一种用于垂直腔面发射激光器的测试装置
本实用新型涉及一种用于垂直腔面发射激光器的测试装置，包括氧化炉腔体、加热装置、高温水蒸气发生装置、红外成像仪、控制系统，加热装置设置在氧化炉腔体下端，高温水蒸气发生装置通过管道与氧化炉腔体相连通，所述的红外成像仪设置在氧化腔体的上端，部分所述的红外成像仪伸入氧化炉腔体内，红外成像仪与控制系统连接，本实用新型结构简单、设计合理、实用性强，通过加热装置VCSEL加热，并通过高温水蒸气发生装置将产生的高温水蒸气输送至腔体中，实现VCSEL的氧化，然后通过红外成像仪实现氧化前后的图像采集，并通过控制系统处理得到氧化物限制窗口的大小和氧化速率，该装置结构简单，进一步降低了测试成本，而且测试简单、易操作，测试结果准确。
一种用于垂直腔面发射激光器的测试装置，其特征在于：包括氧化炉腔体、加热装置、高温水蒸气发生装置、红外成像仪、控制系统，所述的加热装置设置在氧化炉腔体下端，所述的氧化炉腔体内放置有待测试的垂直腔面发射激光器VCSEL，所述的加热装置用于给氧化炉腔体加热；所述的高温水蒸气发生装置用于产生高温水蒸气，所述的高温水蒸气发生装置通过管道与氧化炉腔体相连通，通过高温水蒸气发生装置将产生的高温水蒸气输送至氧化炉腔体中，从而对待测试的垂直腔面发射激光器VCSEL进行氧化处理；所述的红外成像仪设置在氧化腔体的上端，部分所述的红外成像仪伸入氧化炉腔体内，并且该所述的红外成像仪与控制系统连接，所述的红外成像仪用于拍摄待测试的垂直腔面发射激光器VCSEL氧化前的图像或视频、以及氧化后的图像或视频，并且对拍摄的图像自动标尺，并将标尺后的图像传输给控制系统；所述的控制系统用于控制红外成像仪拍摄待测试的垂直腔面发射激光器VCSEL的图像或视频，并对拍摄的图像或视频进行处理，通过图像上的标尺，自动量取待测试的垂直腔面发射激光器VCSEL未氧化部分的长度L2，从而得到氧化物限制窗口的尺寸。
4009962228 0755-22674851
