专利概述
专利名称
一种蜂窝状结构压力传感器
专利介绍
1.一种蜂窝状结构压力传感器，其特征在于，包括依次排列的第一薄膜层(1)、第一氧化铟锡层(2)、第一Ag纳米线层(3)、PDMS和/或有机硅弹性体层(4)、第二Ag纳米线层(5)、第二氧化铟锡层(6)、第二薄膜层(7)；其中，所述PDMS和/或有机硅弹性体层(4)的上、下面为蜂窝状结构，Ag纳米线分布在PDMS和/或有机硅弹性体层的上表面和下表面。
专利详情
本实用新型公开了一种蜂窝状结构压力传感器，其特征在于，包括依次排列的第一薄膜层(1)、第一氧化铟锡层(2)、第一Ag纳米线层(3)、PDMS和/或有机硅弹性体层(4)、第二Ag纳米线层(5)、第二氧化铟锡层(6)、第二薄膜层(7)；其中，所述PDMS和/或有机硅弹性体层(4)的上、下面均为蜂窝状结构，Ag纳米线分布在PDMS和/或有机硅弹性体层的上表面和下表面上；本实用新型的压力传感器具有蜂窝状微纳结构，具有稳定性好、灵敏度高、抗褶皱能力强等特点，有利于提高压力传感器的寿命。
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